专题文章:生产用水及超纯水的最终抛光选择
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人们常说的抛光树脂、核级树脂、电子级树脂都是用于取高纯水制取无需再生的一次性树脂,一般用于超纯水处理系统末端,来保证系统出水水质能够维持用水标准。一般出水水质都能达到18兆欧以上,以及对TOC、SIO2都有一定的控制能力。抛光树脂出厂的离子型态都是H、OH型,装填后及可使用无需再生。一般用于半导体行业。
常用的品牌有美国罗门哈斯、德国拜尔朗盛等,罗门哈斯的型号有AMBERJET UP6150、AMBERJET UP6040、IRN160等。(UP6150与UP6040的主要区别在TOC和SIO2的处理上,UP6150处理能力能在TOC<=20ppb,SIO2<=5ppb;UP6040可以处理能力在TOC<=15ppb,SIO2<=2ppb),安可立「ACL-UP1810硅芯片级抛光树脂」高纯度(TOC≦5ppb)凝胶型均匀颗粒,混和型树脂。和ACL-UP2011阴阳离子交换树脂(H+、OH-)安可立ACL-UP2011是一种经离子均衡化后的混床树脂,它是由强阳离子交换树脂与强阴离子交换树脂混合而成,可直接使用于制程。 ACL-UP2011被用来生产超纯水,它可适用于所有需要 TOC、二氧化硅含量低、无二氧化碳的除矿水处理。可以替代UP6150型号树脂的作用。
该产品作用在生产用水及超纯水的最终抛光选择。
