专题文章：台湾安可立两款硅芯片级抛光树脂可替代UP6150

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ACL-UP2011阴阳离子交换树脂(H+、OH-)

安可立ACL-UP2011是一种经离子均衡化后的混床树脂，它是由强阳离子交换树脂与强阴离子交换树脂混合而成，可直接使用于制程。 ACL-UP2011被用来生产超纯水，它可适用于所有需要 TOC、二氧化硅含量低、无二氧化碳的除矿水处理。

主要应用产品优势

1.工业脱盐

2.离子去除

3.软化

1.良好的交换速率

2.高工作交换容量

3.高强度结构


项目强酸阳离子树脂(H+)强碱阴离子树脂(OH-)
总交换容量≧2.0 eq/L≧1.10 eq/L
氢型树脂(H＋ form)99%none
氢氧型树脂(OH- form)none93%
阳阴树脂交换容量比1:1
採水测试採水水质达18MΩ-cm以上
TOC测试
出水≦5ppb
SiO2测试出水≦3ppb
Kinetic testOK


ACL-UP1810硅芯片级抛光树脂

用途：

混合型抛光树脂应用于半导体设备和其他电子级产品。

优势：

高纯度、低TOC、产生极低有机或无机物杂质波漏。

项目强酸阳离子树脂(H+)强硷阴离子树脂(OH-)
总交换容量≥1.8eg/L≥1.0eg/L
阳阴树脂体积比1:1.5
含水率44(H+)56(OH-)
探水水质探水水质达18MΩ-cm以上
TOC测试出水≤5ppb
SiO2测试出水≤3ppb



建议操作条件
操作温度15~25℃
最小床深900mm
体积流速30~50 BV/h
线性流速120m/h at 35~50℃



建议入水条件
入水水质>17MΩ-cm
入水总有机碳浓度(TOC)
<20ppb



【注】树脂可作用于建议数据以外，但结果可能不是最佳的。




台湾安可立两款硅芯片级抛光树脂可替代UP6150